이 기사는 국내 최대 해외 투자정보 플랫폼 한경 글로벌마켓에 게재된 기사입니다. 중국내에서 처음으로 침지형 심자외선(DUV) 리소그래피 장비를 개발,생산에 나선 업체는 상하이에 있는 아이솅나 전자기술그룹이라고 로이터가 보도했다. 그러나 이 업체의 심자외선 리소그래피는 당분간 네덜란드 공급업체인 ASML에게는 상업적인 위협이 되지는 않을 전망이다. 소식통은 아이솅나의 DUV 장비는 추가 테스트가 필요하며 네덜란드 ASML의 모델과는 아직 거리가 멀다고 전했다. 전 날 더 인포메이션의 보고서 발표 이후 8% 하락했던 ASML 주가는 이 날 09시 6분(GMT) 현재 1.6% 하락하며 다른 유럽 반도체 업종 주식들과 비슷한 흐름을 보였다. 기술 산업 뉴스 매체인 더 인포메이션은 이에 앞서 상하이에 있는 신원 미상의 국영 기업이 침지형 DUV 생산에 착수했으며 올해 약 5대, 2027년에는 약 20대를 생산할 계획이라고 보도했다. 이 매체는 소식통 두 명을 인용해, 중국산 DUV 장비가 SMIC, 화홍 반도체, 창신 메모리(CXMT) 등 주요 중국 반도체 제조업체에 올해 안에 납품될 예정이라고 밝혔다 모바일 바다이야기 기프트전환 . 침지형 DUV 장비는 투사 렌즈와 실리콘 웨이퍼 사이에 물 층을 형성해 기존의 건식 시스템보다 더 작은 회로 패턴을 인쇄한다. DUV 공정은 가장 진보된 단계 이전의 광범위한 반도체를 생산하는 데 사용되며, 동일한 층을 반복적으로 노출시키는 다중 패터닝을 통해 더 발전된 반도체를 제조하는 데에도 활용될 수 있다. 로이터에 따르면, 아이솅나는 미국의 대중 반도체 장비 수출 규제가 본격화된 2022년 이후인 2023년 8월에 설립됐다. 기업 기록에 따르면, 등록자본금은 70억위안(약 1조5천억원)이고 상하이 전기 지주회사와 상하이 국제신탁의 자회사라는 두 개 국영주주가 투자했다. 이 회사는 웹사이트도 없고 공개적으로 아무것도 밝히지 않아 알려진 바가 거의 없다. 소식통에 따르면 이 회사는 지난해 DUV 프로토타입 테스트를 시작한 리소그래피 스타트업 율량성과 상하이 마이크로 전자 장비 팀을 영입해 개발해온 것으로 알려졌다. 무료충전현금게임 SMEE와 화웨이가 지원하는 장비 제조업체 시캐리리어의 계열사인 율량성 역시 중국의 반도체 자립 노력에 깊이 관여하고 있다. 기업 및 채용 기록에 따르면 아이솅나와 율량성은 상하이에서 같은 주소를 사용하고 있다. 미국은 2022년부터 중국이 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 리소그래피 시스템을 구매하는 것을 금지했으며, DUV 가운데 첨단 스펙 리소그래피도 수출이 금지됐다. 중국의 자급 추진에도 ASML의 상반기 매출중 약 16%가 중국에서 발생하고 있다. 중국 반도체 제조업체들은 EUV보다는 단순한 DUV 장비를 대량 구매하고 있다. 로이터는 지난 12월에 최첨단 반도체 생산에 핵심적인 기술인 EUV 시스템의 프로토타입을 중국이 개발하는데 성공했다고 보도했지만, 양산까지는 수년이 걸릴 것으로 예상했다. 시장의 반응에도 불구하고 분석가들은 그러나 이번 소식이 ASML의 중기적인 수익 추이에 큰 영향을 미치지는 않을 것으로 보고 있다. JP모건 체이스의 분석가들은 "소수의 침지형 DUV 장비 생산에 성공했다해도, 그것이 수천번의 웨이퍼 생산에 걸쳐 수율과 오버레이, 처리량 및 신뢰도를 확보해 실제 대량생산에 사용 가능한 장비를 생산하는 것은 전혀 다르다”고 지적했다. (약 1조5천억원)